发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01296650(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880127518 申请日期 1988.05.25
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 HATTA YASUO;TANAKA HIROAKI;TAKE KOICHIRO;HIDAKA MASAFUMI
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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