| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE DECOMPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU591063(B2) |
申请公布日期 |
1989.11.30 |
| 申请号 |
AU19850043940 |
申请日期 |
1985.06.21 |
| 申请人 |
KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YOSHIHISU TAWADA;TAKEHISA NAKAYAMA;MASAHIKO TAI;NOZOMU IKUCHI |
| 分类号 |
H01L21/20;B09C1/02;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/04;H01J37/248;C23C14/54 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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