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发明名称 VERFAHREN ZUM ZUECHTEN EINER SEHR DUENNEN METALLSCHICHT UND VORRICHTUNG HIERFUER
摘要
申请公布号 DE3916622(A1) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 DE19893916622 申请日期 1989.05.22
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AWAYA, NOBUYOSHI;ARITA, YOSHINOBU, ISEHARA, KANAGAWA, JP
分类号 C23C16/18;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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