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发明名称 ELECTRODE FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH01297140(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880125943 申请日期 1988.05.25
申请人 KANEBO LTD 发明人 KONDO YOSHIKAZU;TSUDA YUKIO
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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