发明名称 METHOD FOR MAKING AN ADHESION CONTACT
摘要
申请公布号 DE3666643(D1) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 DE19863666643 申请日期 1986.08.29
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 FAHRENSCHON, KURT
分类号 H01L21/60;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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