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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG FUNKTIONALER ZINKOXID-FILME UNTER VERWENDUNG VON ALKYLZINK-VERBINDUNG UND SAUERSTOFF ENTHALTENDEM GAS
摘要
申请公布号 DE3916983(A1) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 DE19893916983 申请日期 1989.05.24
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NISHIDA, SHOJI, NAGAHAMA, SHIGA, JP
分类号 C23C16/18;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;G02F1/1343;H01B1/08;H01L21/205;H01L31/04;H01L31/075;H01L31/18 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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