发明名称 MEASURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01296131(A) 申请公布日期 1989.11.29
申请号 JP19880127470 申请日期 1988.05.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWAGUCHI KATSUJI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
地址