APPARATUS FOR MEASURING INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19880127340-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR MEASURING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH01296178(A)	申请公布日期	1989.11.29
申请号	JP19880127340	申请日期	1988.05.25
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	SHIGA NOBUO;MIKAMIMURA YASUKI
分类号	G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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