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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE TREATING OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP0252439(A3)
申请公布日期
1989.11.29
申请号
EP19870109529
申请日期
1987.07.02
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
发明人
NISHIZAWA, HISAO;MORITA, MASARU;TANAKA, MASATO
分类号
H01L21/304;G03F7/40;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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