成膜装置及其用它生产非晶硅化合物薄膜的方法

摘要

一种包括一高频涂敷电极和一接地电极的成膜装置。高频涂敷电极具有一带有峰和谷的不平坦表面。通过将硅基气体送进该装置，在高频涂敷电极和接地电极之间产生辉光放电应将基片放在产生辉光放电的环境中，而将非晶硅薄膜高速地、均匀地形成在基片上。

主权项

1、一种用于在基片上形成薄膜的装置，包括一高频涂敷电极和一接地电极，所说的高频涂敷电极是具有一带有凸峰和凹谷的不平坦表面。