发明名称 ISOLATION VALVE FOR VACUUM AND NON-VACUUM APPLICATION
摘要
申请公布号 EP0309181(A3) 申请公布日期 1989.11.29
申请号 EP19880308669 申请日期 1988.09.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 JAKUBIEC, ANTONI F.;DALEY, THOMAS M.
分类号 F16K3/18;F16K51/02;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K3/18
代理机构 代理人
主权项
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