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发明名称 ELECTRON LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0161723(B1) 申请公布日期 1989.11.29
申请号 EP19850200731 申请日期 1985.05.10
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 WARD, RODNEY
分类号 H01L21/027;H01J37/317 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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