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发明名称
PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPH01296167(A)
申请公布日期
1989.11.29
申请号
JP19880127469
申请日期
1988.05.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAJIMA YASUHARU
分类号
G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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