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发明名称 Forming a polymide pattern on a substrate
摘要
申请公布号 US4883744(A) 申请公布日期 1989.11.28
申请号 US19880196641 申请日期 1988.05.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FEILCHENFELD, NATALIE B.;FUERNISS, STEPHEN J.;GLENNING, JOHN J.;PAWLOWSKI, WALTER P.;PHELAN, GIANA M.;RICKERL, PAUL G.
分类号 H05K3/06;G03F7/038;G03F7/16;G03F7/32;H01L21/768;H01L23/522;H05K1/03;H05K3/46 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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