发明名称 ION BEAM MIXING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01294861(A) 申请公布日期 1989.11.28
申请号 JP19880124555 申请日期 1988.05.20
申请人 HITACHI KOKI CO LTD 发明人 NOTO NOBUHIRO;MORI KINTARO
分类号 C23C14/46;C23C14/48 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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