发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01293551(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880124411 申请日期 1988.05.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRAI TATSUYA
分类号 H01L23/29;H01L21/52;H01L23/36;H01L23/50 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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