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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01293551(A)
申请公布日期
1989.11.27
申请号
JP19880124411
申请日期
1988.05.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIRAI TATSUYA
分类号
H01L23/29;H01L21/52;H01L23/36;H01L23/50
主分类号
H01L23/29
代理机构
代理人
主权项
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