发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01293541(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880124410 申请日期 1988.05.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEMURA SEIJI
分类号 H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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