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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01292842(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880123300 申请日期 1988.05.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOIKE SHIGEYOSHI;KOJIMA HIDEYUKI;TAKAGI HIDEO
分类号 H01L21/3205;H01L21/20;H01L21/28;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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