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发明名称 PATTERN-FORMING PROCESS UTILIZING RADIATION-INDUCED GRAFT POLYMERIZATION REACTION.
摘要
申请公布号 EP0328655(A4) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 EP19880906082 申请日期 1988.07.11
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MOCHIJI, KOZO;OIZUMI, HIROAKI;SODA, YASUNARI;OGAWA, TARO;KIMURA, TAKESHI
分类号 G03C5/00;G03F7/00;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
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