| 发明名称 |
INDUCTION PLASMA APPLICATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01292828(A) |
申请公布日期 |
1989.11.27 |
| 申请号 |
JP19880123188 |
申请日期 |
1988.05.20 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
AMANO TAKANOBU;KOMAKI HISASHI;HIRAKAWA YOSHIHARU |
| 分类号 |
C23C14/22;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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