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发明名称 LIQUID RESIN COATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01293623(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880126624 申请日期 1988.05.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAYAMA OSAMU
分类号 H01L21/31;H01L21/312 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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