发明名称 HIGH-SPEED DIELECTRICALLY ISOLATED DEVICES UTILIZING BURIED SILICIDE REGIONS AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 EP0335557(A3) 申请公布日期 1989.11.23
申请号 EP19890302763 申请日期 1989.03.21
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 EASTER, WILLIAM GRAHAM;FEYGENSON, ANATOLY
分类号 H01L21/225;H01L21/74;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/76;H01L29/72;H01L29/78 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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