| 发明名称 |
Electron detector for selectively detecting secondary electrons and high-energy reflected electrons |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3381132(A) |
申请公布日期 |
1968.04.30 |
| 申请号 |
US19650435131 |
申请日期 |
1965.02.25 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA HITACHI SEISAKUSHO |
发明人 |
OKANO HIROSHI |
| 分类号 |
G01T1/16;G21K1/10;H01J29/84;H01J37/244 |
主分类号 |
G01T1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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