| 发明名称 |
RIPETITORE A LENTE SINGOLA PER L'USO IN OPERAZIONI DI MASCHERATURA NELLA LAVORAZIONE DI ELEMENTI SEMICONDUTTORI COMPOSITI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1212414(B) |
申请公布日期 |
1989.11.22 |
| 申请号 |
IT19800021931 |
申请日期 |
1980.05.09 |
| 申请人 |
ELECTROMASK INC. |
发明人 |
VAN PESKI CHRISTIAN;MEISENHEIMER WILLIAM L. |
| 分类号 |
H01L21/30;G03B27/52;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G03F/ |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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