| 发明名称 |
PROBE CARD AND MEASURING METHOD FOR PARTS TO BE MEASURED USING THE SAME CARD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01291167(A) |
申请公布日期 |
1989.11.22 |
| 申请号 |
JP19880119242 |
申请日期 |
1988.05.18 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YOSHIZAWA TETSUO;IMAIZUMI MASAAKI;NISHIDA HIDEYUKI;KONDO HIROSHI;SAKAKI TAKASHI;ICHIDA YASUTERU;KONISHI MASATERU |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
