| 发明名称 |
PRODUCTION OR ORGANIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01291224(A) |
申请公布日期 |
1989.11.22 |
| 申请号 |
JP19880119301 |
申请日期 |
1988.05.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YOSHIMURA TETSUZO;KUBOTA YOSHINOBU |
| 分类号 |
C08F38/00;C23C14/12;C30B29/54;G02F1/35;G02F1/355;G02F1/361;H01L21/363;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40 |
主分类号 |
C08F38/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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