| 发明名称 |
PRODUCTION OF FINE MULTIPROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01290598(A) |
申请公布日期 |
1989.11.22 |
| 申请号 |
JP19880118240 |
申请日期 |
1988.05.17 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;SUU BAIRON BONGU |
发明人 |
SUU BAIRON BONGU |
| 分类号 |
G01B7/34;C30B25/02;C30B29/62;G01N23/00;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/06;G01Q70/10;G01Q70/16;G01R1/073;G11B9/00;H01J9/02;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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