VAPOR PHASE EPITAXY,申请号JP19880120953-传众专利搜索

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发明名称	VAPOR PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号	JPH01289258(A)	申请公布日期	1989.11.21
申请号	JP19880120953	申请日期	1988.05.17
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MARUYAMA KENJI
分类号	H01L21/205;H01L21/365	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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