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发明名称
LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH01289277(A)
申请公布日期
1989.11.21
申请号
JP19880119870
申请日期
1988.05.17
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAKAMURA SHUNJI
分类号
H01L23/522;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/768;H01L23/52;H01L27/12
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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