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发明名称
摘要
申请公布号
JPH01289140(K1)
申请公布日期
1989.11.21
申请号
JP19880118939
申请日期
1988.05.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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