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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01289167(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880118556 申请日期 1988.05.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA SHUNJI
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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