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发明名称 MOUNTING STRUCTURE OF FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH01289262(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880119871 申请日期 1988.05.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INAGAKI MITSUO;KURODA YASUHIDE
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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