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发明名称 VERTICAL WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH01289142(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880117132 申请日期 1988.05.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 ISHIBASHI TADAO
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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