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发明名称
摘要
申请公布号 JPH01165629(U) 申请公布日期 1989.11.20
申请号 JP19880061874U 申请日期 1988.05.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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