发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01287964(A) |
申请公布日期 |
1989.11.20 |
申请号 |
JP19880117431 |
申请日期 |
1988.05.13 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
YUDASAKA KAZUO;MIYASAKA TSUGUMITSU;NAKAMICHI TADAHIRO |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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