| 发明名称 |
CONNECTION HOLE FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01287948(A) |
申请公布日期 |
1989.11.20 |
| 申请号 |
JP19880117856 |
申请日期 |
1988.05.14 |
| 申请人 |
FUJI XEROX CO LTD |
发明人 |
MURATA MICHIAKI;TEZUKA HIROAKI;IKEDA YUMIKO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
