发明名称 SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01287403(A) 申请公布日期 1989.11.20
申请号 JP19880117129 申请日期 1988.05.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NISHIMURA KUNITOSHI
分类号 G01B7/34;G01M11/00;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;G02B21/26;H01J37/20;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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