发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01286327(A) 申请公布日期 1989.11.17
申请号 JP19880115886 申请日期 1988.05.11
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI TAKAAKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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