发明名称 METHOD FOR EPITAXIAL GROWTH OF GALLIUM ARSENIDE
摘要
申请公布号 JPH01286999(A) 申请公布日期 1989.11.17
申请号 JP19880116478 申请日期 1988.05.13
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO;NIPPON STEEL CORP 发明人 NANBA SUSUMU;MORIYA AKIHIRO;AOYANAGI KATSUNOBU;IIMURA YASUFUMI;NAGATA AKIRA
分类号 C30B23/08;C30B29/42;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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