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发明名称 FORMATION OF VAPOR-DEPOSITED METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPH01287267(A) 申请公布日期 1989.11.17
申请号 JP19880113953 申请日期 1988.05.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ITO TAKASHI
分类号 C23C14/24;H01J9/20;H01K3/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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