发明名称 MEASUREMENT PROGRAM GENERATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01284779(A) 申请公布日期 1989.11.16
申请号 JP19880113145 申请日期 1988.05.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KUMAKI YUJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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