摘要 |
On forme des polymères de polyimide ayant une constante diélectrique relativement basse et une bonne résistance aux solvants, par polymérisation d'un oligomère de polyimide ayant la formule (I) dans laquelle R est sélectionné dans le groupe composé de: -C=CH, -CH=CH2, -CN, et la formule (II) dans laquelle R1 représente -H ou -CH3, et n = 1-20. R est de préférence un groupe acétylène. On peut aussi former ces polymères à partir des oligomères d'acide polyamique correspondants. Ces polymères sont utiles pour former des couches diélectriques, notamment dans des dispositifs semiconducteurs multicouches. |