发明名称 MEASURING APPARATUS OF SHAPE OF FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 JPH01285810(A) 申请公布日期 1989.11.16
申请号 JP19880115786 申请日期 1988.05.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOKOYAMA TOSHINOBU
分类号 G01B21/08 主分类号 G01B21/08
代理机构 代理人
主权项
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