| 发明名称 |
INSPECTING DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01284744(A) |
申请公布日期 |
1989.11.16 |
| 申请号 |
JP19880113369 |
申请日期 |
1988.05.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKAZAKI MAKOTO;AZUMA KENICHI;HIBARA TATSUNORI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;H01L21/66;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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