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经营范围
发明名称
MICROWAVE EXCITING PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号
JPH01283745(A)
申请公布日期
1989.11.15
申请号
JP19880112563
申请日期
1988.05.11
申请人
HITACHI LTD
发明人
OKAMOTO YUKIO;MURAYAMA SEIICHI
分类号
H01J27/16;H01J37/08;H01J49/10;H05H1/46
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
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