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发明名称 QUICK CHANGE SPUTTER TARGET ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP0336618(A3) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 EP19890302964 申请日期 1989.03.23
申请人 TOSOH SMD, INC. 发明人 FIELDER, KENNETH B.;BELLI, ROBERT L.;FUCHS, CONRAD E.
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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