Filter device for waste gas stream at the gas phase deposition in semiconductor technic.

摘要

Zum Zurückhalten fester Bestandteile des Abgasstromes bei Gasphasenabscheidungen wird eine Filteranordnung vorgeschlagen, die ein in einem Filtergehäuse (1) angeordnetes Gewebefilter (4) aufweist. Das Filtergehäuse (1) weist einen Einlaß (2) und einen Auslaß (3) auf, durch den der Abgasstrom mittels einer Pumpe gesaugt wird und einen Filtergehäusedeckel (5) zum Öffnen des Filtergehäuses (1). Das Gewebefilter (4) ist nach dem Prinzip eines Faltenbalgs ausgebildet. Die Filteranordnung ist bei der Herstellung integrierter Schaltungen mit CVD-Verfahren einsetzbar.