| 发明名称 |
MICROWAVE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0326998(A3) |
申请公布日期 |
1989.11.15 |
| 申请号 |
EP19890101579 |
申请日期 |
1989.01.30 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
ECHIZEN, HIROSHI;TAKAKI, SATOSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/52;C23C16/24 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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