| 发明名称 |
PELLICLE |
| 摘要 |
A pellicle (1) is composed of a pellicle frame (2), a pellicle film (3) spread on one side face of the pellicle frame (2), and a tacky substance layer (4) having a high light transmittance formed on the inner side face of the pellicle film (3). |
| 申请公布号 |
EP0315450(A3) |
申请公布日期 |
1989.11.15 |
| 申请号 |
EP19880310357 |
申请日期 |
1988.11.03 |
| 申请人 |
MITSUI PETROCHEMICAL INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
NAKAGAWA, HIROAKI;MATSUZAKI, HITOMI |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/62;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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