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发明名称
METHOD FOR FORMING MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH01283946(A)
申请公布日期
1989.11.15
申请号
JP19880114156
申请日期
1988.05.11
申请人
NEC CORP
发明人
KATO HARUO
分类号
H01L21/3213
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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